Fordampningsbåter utmerker seg i vakuumovner

Fordampingsbåt er en vakuumovn for å oppnå kjernekomponentene i materialfordampingbelegget, dens funksjon er å bære fordampning av materialer og gjøre den fordampet ved oppvarming, avsatt i et vakuummiljø for å danne en tynn film. Følgende fra applikasjonsscenen, materialegenskaper, tekniske punkter og bransjeapplikasjoner og andre aspekter av den detaljerte analysen av fordampingsbåten i vakuumovnen applikasjoner:

En kjerneapplikasjonsscene

1. Tynn filmavsetning og beleggforberedelse Vakuumovn gjennom fordampningsbåten oppvarming fordampede materialer (metaller, legeringer, forbindelser, etc.), slik at det er i et lavtrykksmiljø, fordamping og avsetning av underlaget (overflaten, dens overflate (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall (metall). Isolerende lag (sio₂, sinₓ), brukt i brikkeproduksjon, kretskort, MEMS -enheter. Optiske filmer: Transmittans Enhancement Films (MGF₂), Reflective Films (AG, AL), Filter Films (Multilayer Dielctric Films), brukt i optiske linser, mobiltelefonkameraer, skjermer. Funksjonelle belegg: slitasjebestandige belegg (tinn, CRN), varmeinstallende filmer (metalllegeringer), korrosjonsbestandige filmer (PTFE), brukt i bilglass, skjæreverktøy, luftfartskomponenter.

2. Materialrensing og modifisering av materialseparasjon med høy renhet: Bruk av forskjellige stoffer med forskjellig damptrykk, gjennom fordampingsbåtoppvarming for å oppnå rensing av sjeldne jordelementer (som ND, DY), edle metaller (Au, PT). Overflatedopingbehandling: Fordampning av dopingmidler (for eksempel B, N) på overflaten av halvlederskiver eller batterilektroder, for å forbedre de elektriske eller optiske egenskapene til materialer.

For det andre de tekniske poengene og designkravene

1. Temperaturkontroll og ensartethet i fordampingsbåten ved motstand Oppvarming eller oppvarming av elektronstråle Bombardement, må stille temperaturen i henhold til materialdamptrykket (for eksempel Al -fordampningstemperatur på omtrent 1200 grader, AU ca. 1400 grader).

Båtkroppsdesign (for eksempel dybden på sporet, vippevinkelen) for å sikre at fordampningen av materialet varmes opp jevnt, for å unngå lokal overoppheting forårsaket av sprut eller urenhetsvolatilisering.

2. Vakuummatchende vakuummiljø (vanligvis 10- ³ ~ 10- ⁶ pa) kan redusere kokepunktet til materialet, forbedre fordampningshastigheten, samtidig som det unngår oksidasjon. Fordampningsbåtmaterialer må være stabile under høyt vakuum, for eksempel grafittbåt må unngå oksidasjon med høy temperatur (må fylles med inert gass som AR).

3. Kjemisk kompatibilitet for å unngå fordampning av materialer og båtreaksjon: For eksempel bør fordampning av Zn, S-holdige materialer, ikke bruke molybdenbåt (lett å danne en lavt smeltepunkt MOS ₂ føre til korrosjon); Fordamping av nitrid foretrakk bornitridbåt, for å forhindre metallbåtlegemet og reaksjonen fra N -elementet for å generere urenheter.

4. Liv og erstatningssyklus Etter langvarig bruk kan båten skyldes erosjon av materialsmelting, fordampningsrester eller deformasjonssvikt, regelmessig vedlikehold (for eksempel ultralydrensing) eller erstatning for å sikre stabiliteten til beleggskvaliteten. Typiske bransjeapplikasjoner

1. Halvleder og mikroelektronisk brikkeproduksjon: fordampning av AL, Cu -fremstilling av integrerte kretselektroder ved bruk av molybdenbåt eller wolframbåt; Avsetning av sio₂ isolasjonslag kan være valgfri grafittbåt eller bornitridbåt (for å unngå metallforurensning). Strømenheter: Bruken av fordampning av bornitridbåt GaN, ALN, Preparatet av epitaksialt lag med høy elektronmobilitet (HEMT), for å unngå introduksjon av urenheter i metallbåtlegemet.

2. Optikk og visningsteknologi Presisjon Optiske komponenter: Tungsten -båtfordamping AG, AL Forberedelse av speil, grafittbåtfordamping mgf₂, sio₂ forberedelse av transmittansforbedringsfilm, for å sikre filmenhet og lav defektrate.

OLED og Mini-ledet: Bornitridbåtfordamping av organiske lysemitterende materialer (for eksempel IR-kompleks) eller kvanteprikker, for å unngå båtkroppsmaterialene og reaktive organiske molekyler, for å forbedre enhetens levetid.

3. Nye energifelt solceller: Molybden Båt fordampning AG elektrodeoppslemming, grafittbåtavsetning sinₓ Reduksjonsfilm; I chalcogenide-batteriet, bor nitrid båt fordampning formamidin-bly jod (fapbi₃), for å forhindre forurensning av vanndamp og urenheter.

4. Litium-ion-batterier: Tantal Båt fordampning Li metallforberedelse av solid-state batterilektroder, bruk av litiumkorrosjonsmotstanden; Fordamping av B, N-elementer dopet modifisert silisiumbasert anode, for å forbedre sykkelytelsen.

5. High-end utstyr og luftfartsverktøybelegg: Tungsten-båtfordamping Ti, Cr Preparation Tin, CRN hardt belegg, forbedre verktøyets slitasje motstand; Bornitridbåtfordamping av diamantforløper, fremstilling av DLC -film brukt i luftfartslager.

Legering av høye temperaturer: fordampning av AL, Y og andre elementer av molybdenbåt i vakuumovn for å danne antioksidantbelegg (for eksempel aluminiumoksydbelegg) for luftmotorblad.

Shengyang New Material Co., Ltd. er forpliktet til produksjon av bornitrid og bornitridbearbeidede produkter, og kan tilpasse forskjellige bornitridisolerende keramiske deler i henhold til kundebehov. Kontakt oss om nødvendig.
Tlf: +8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com